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专利介绍交易流程

本发明公开了一种基于柱面电容传感器的主轴五自由度运动误差测量方法与装置。在阶梯形转子的小端安装定子，定子的内柱面中安装四个径向电极，四个电极与转子小端构成四个电容，靠近阶梯形转子的大端面一侧的定子侧面安装四个等分布置的端面电极，四个电极与转子大端构成另外四个电容。测量过程中，转子与被测主轴固接在一起随主轴同步转动，定子通过支撑件安装固定，设置于定子上的电极与转子电极构成电容。运转过程中，当主轴有径向的跳动、轴向的窜动或者发生偏转时将改变相应电容的参数，引起电容值的变化，通过对所设置的电容值测量并进行相应的数学计算可得到主轴在运转过程中五个自由度方向上的运动位移。本发明结构简单、设备成本低。

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