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专利介绍交易流程

本发明公开了一种圆桶型金属有机化学气相沉积反应管，它包括桶体，特征是：桶体为左右两端开口的圆桶形状，在桶体内依次套有石墨圆桶、电炉丝圆桶和钼薄板隔热圆桶，在电炉丝圆桶的左右两端分别设置有左隔热钼薄板和右隔热钼薄板，左隔热钼薄板和右隔热钼薄板套装在电极杆上；在桶体内设置有多层喷管，多层喷管由液体冷却管、氨气喷管和金属有机源喷管组成，在桶体的内壁上加工有分别与氨气喷管连接的氨气喷嘴和与金属有机源喷管连接的金属有机源喷嘴，在桶体的内壁上设有排气口。本发明具有既能大规模提高产量、降低产品成本，又能提高生产效率、且石墨表面温度均匀性好、产品合格率高、耗能少的优点。它的产能是目前三种流行的MOVCD大型机的20倍。

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圆桶型金属有机化学气相沉积反应管 ( 化学-冶金 )

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