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镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器及其制备方法 ( 电学 )

  • cn201210009896.0 发明
  • 2016-09-07
  • 电学
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本发明涉及一种镁镍氧基多波段日盲区紫外探测器,包括沿垂直方向依次设置的衬底,底层NiO薄膜,两层以上的多层镁镍氧薄膜,帽层NiO薄膜,第一金属电极(欧姆接触)和第二金属电极(肖特基接触),所述的多层镁镍氧薄膜由沿垂直方向对称分布的Mgx1Ni1-x1O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx3Ni1-x3O……MgxmNi1-xmO、MgO、MgxmNi1-xmO……Mgx3Ni1-x3O、Mgx2Ni1-x2O、Mgx1Ni1-x1O薄膜构成,其中,0<x1<x2<x3<……<xm<1,MgO薄膜为中间层,多层镁镍氧薄膜中的其余薄膜相对于中间层沿垂直方向对称分布。其制备方法为:在衬底表面以下列生长工艺中的一种或多种依次生长薄膜和电极,所述生长工艺采用脉冲激光沉积法、磁控溅射法、电子束蒸发法或分子束外延法。本发明的优点是:通过调节外加偏压,可以实现多波段日盲区紫外探测,实现了器件的集成,单个探测器即可实现多个日盲区波段的探测,相对于分立器件具有低成本,工艺简单,重复性好,易于实现等优点。

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