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平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法 ( 物理 )

  • cn201210065306.6 发明
  • 2016-11-08
  • 物理
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本发明公开了一种平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法,检测开始后,射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描,射线探测及数据采集装置获得射线投影数据,然后传送给控制及图像处理系统成像,包括数字式辐射成像DR和计算机层析成像CT。计算机层析成像时,根据平移式锥束射线扫描获得的不完全投影数据,采用本发明提出的基于子区域平均化和总变差最小化的平移式锥束CT迭代重建算法重建CT图像,可获得高质量三维CT图像。本发明用于对生产线上的电子元件进行高精度在线检测,可对电子元件的内外结构进行放大DR成像和三维CT成像;装置结构简单,扫描效率高;能有效检测电子元件的材质缺陷及装配缺陷。

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